Comparative study of AlN dielectric films’ electrical properties for MEMS capacitive switches

A- Ao A+ GR

Please use any of these identifiers to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/10795/2986
http://repository.edulll.gr/2986

PDF (193.76 kB)

Author/Creator	Koutsoureli, M.; Adikimenakis, A.; Michalas, L.; Papandreou, E.; Stavrinidis, G.; Konstantinidis, G.; Georgakilas, A.; Papaioannou, G.
Contractor	Εθνικό και Καποδιστριακό Πανεπιστήμιο Αθηνών (ΕΚΠΑ)
Source	MICRO & NANO 12ABSTRACT
Language	English
Date	2012
Extent	1 pages
Subject	φυσικές επιστήμες ηλεκτρονική ηλεκτρολογικό υλικό ηλεκτρική ενέργεια
Keywords	Aluminum nitride piezoelectric thin films, AlN, MEMS switches, MEMS devices, Dielectric charging, Reliability
Is Related to	Determination of bulk discharge current in the dielectric film of MEMS capacitive switches Temperature effects on the bulk discharge current of dielectric films of MEMS capacitive switches Charge Collection Mechanism in MEMS Capacitive Switches Μελέτη και Βελτιστοποίηση των Ηλεκτρικών Ιδιοτήτων Λεπτών Μονωτικών Υμενίων που Χρησιμοποιούνται σε Μικρο-Ηλεκτρο-Μηχανικά Συστήματα (MEMS) Αssessment of dielectric charging in micro-electro-mechanical system capacitive switches Charging and Discharging Processes in AlN Dielectric Films Deposited by Plasma Assisted Molecular Beam Epitaxy Properties of contactless and contacted charging in MEMS capacitive switches
Type	Text (Abstract presentation)
Scientific Coordinator	Παπαϊωάννου, Γεώργιος
Project Notes	Τίτλος Δράσης: Ηράκλειτος ΙΙ Τίτλος Πράξης: Μελέτη και βελτιστοποίηση των ηλεκτρικών ιδιοτήτων λεπτών μονοτικών υμενίων που χρησιμοποιούνται σε μικρο-ηλεκτρικά-μηχανικά συστήματα (Mems)